第一三八六章 光刻机的现状（下）

    “董事长，要是Nikon在我们之前，率先攻克157nm激光器技术，率先研发成功65nm制程工艺的光刻机，我们如何应对？”</P>
    cto汤普森知道EUV光刻机不是短时间内能研制成功的，也主张两条腿走路，GcA研究院如今也在研发157nm激光器，由于GcA一直以研发EUV为主，157nm激光器的技术远不如Nikon和SVG，投资10美元，要是能够收购SVG，拿到SVG独有的157nm激光器需要配置的反折射镜头技术，不能反超Nikon，也能同Nikon并肩齐驱。</P>
    孙董事长不同意公司收购SVG，汤普森也不理解。</P>
    EUVLLc联盟规划投资2亿美元，集合200多位顶尖科学家，目的就是从理论上验证了EUV光刻机的可行性？理论验证完成后，EUVLLc联盟将宣布解散，将研制EUV和EUV光刻机的难题交给GcA，据同行在一起估算，研发投资起码要花50亿美元！</P>
    汤普森领导EUVLLc联盟的200多位科学家，研究了2年多，还没有验证清楚EUV光刻机的可行性？</P>
    “汤普森院长的担忧也有道理，除了加强研发力量继续研究157nm激光器技术外，艾德里安先生可以同papken先生接触一下，看对方是否愿意出售反折射镜头技术的专利？价格可以商量”</P>
    papken是SVG的首席执行官。</P>
    孙健本来不想在董事会上谈论收购SVG的事情，但汤普森的提问代表GcA高层的疑惑，不得不正面回应。</P>
    当时因为bSEc研究院光源研究所还没有研发成功193nm浸没式光刻机技术，孙健不反对GcA研究院两条腿走路，但bSEc研究院光源研究所去年已经研发成功193nm浸没式光刻机技术，GcA再继续投入巨资研发157nm激光器就是多此一举，但也不能打击众人的积极性。</P>
    “好的，董事长！”</P>
    艾德里安心里好奇，为什么孙董事长不同意收购SVG？似乎对研发157nm激光器技术不是特别支持，难道还有更好的方法？明白papken不会低价出售反折射镜头技术的专利。</P>
    “汤普森院长，EUVLLc联盟一旦从理论上验证了EUV光刻机的可行性后，要是GcA继续研发EUV光刻机，理论上大概需要多少投资”</P>
    孙健转移话题，也是告诉公司高层，GcA账上的现金流不是多了，而是远远不够。</P>
    前世，EUVLLc联盟的几百位顶尖科学家在一起联合研发了6年多，发表了几百篇科研论文，从理论上验证了EUV光刻机是可行的，目的达到，解散了EUVLLc联盟，接下来的实际问题都抛给了ASmL，面对如此高深的技术，ASmL是选择做还是不做？</P>
    ASmL一家之力不可能完成研制成功EUV光刻机这项宏伟工程，不得不拿出公司近三成的股权，向下游光刻机重要客户Intel、台积电和三星电子融资了60多亿美元！</P>
    据说为了研发EUV光刻机，ASmL前前后后在将近20年时间内投入上百亿美元的研发费用。</P>
    GcA和Nikon占据光刻机的高端市场，技术水平不分仲伯，但由于高端光刻机用户Intel、Ibm、It、Adm、hp同GcA既是Sematech会员，又是GcA的股东，采用一致对外的策略，GcA的高端光刻机是首选，GcA如今占据全球高端市场份额的近7成，NiKon占3成多。</P>